定位精度：<30 arc min

透明孔径：>90%

面尺寸公差：+0/-0.1mm

长度公差：±0.1mm

平行度误差：<20 arc sec

垂直度误差：<10 arc min

倒角：<0.1 mm at 45°

表面质量：10-5 S-D

面形：λ/10~λ/2